硅通孔工藝實驗室（2227室）設有金屬沉積所需的電鍍設備及用作研磨晶片的拋光機。
地址: 納米系統製造實驗中心(清水灣) 香港, 九龍, 清水灣 香港科技大學 2樓, 2227室 (升降機編號:23)
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