納米系統製造實驗中心(清水灣)迎新課程

想成為納米系統製造實驗中心(清水灣)用戶的人士必須先參加一系列培訓課程,包括甲部)安全培訓;丙部)污染管制與指引,以及丁部)納米系統製造實驗中心(清水灣)網站/設備預約系統培訓。納米系統製造實驗中心(清水灣)每月舉辦課程一次,每次最多接收12名學員。 乙部)化學品安全分為兩個自修單元 - 化學安全(一)(MC07)和(二)(MC03),由健康、安全及環境處提供。

培訓課程旨在向用戶介紹無塵室環境,提高他們對工作相關安全問題的關注,讓他們熟悉納米系統製造實驗中心(清水灣)網站和設備預設系統,以及了解污染問題和實驗室的日常運作。

MC07化學品安全(一) MC03化學品安全(二)

*校外用戶如要參加,請聯絡葉沛強先生(nfpkyip@ust.hk)。

認可考試及化學品安全培訓評估

申請人完成培訓課程後,必須通過認可考試和化學品安全培訓評估,才可於納米系統製造實驗中心(清水灣)內工作。

考試包括三張試卷:

  • 卷一:安全
  • 卷二:污染管制與指引
  • 卷三:工藝流程

一般來說,考試於培訓課程後舉行。考試不合格的申請人需重讀課程,方可再次參加考試。

考試範圍如下:

卷一範圍:

  1. 無塵室環境
  2. 《化學品安全說明書》與材料限制
  3. 警報系統與緊急逃生路線
  4. 一般實驗室安全
  5. 消防和化學品安全
  6. 設備與操作安全

卷二範圍:

  1. 污染
  2. 工藝驗證指引
  3. 一般工藝要求
  4. 操作指引
  5. 設備潔淨級別與晶片狀態

卷三範圍:

  1. 卷二範圍
  2. 工藝流程標準格式

下圖說明申請成為納米系統製造實驗中心(清水灣)用戶的步驟。

納米系統製造實驗中心(清水灣)用戶申請表格及工藝流程

用戶開始進行工藝前,必須先向納米系統製造實驗中心(清水灣)提交工藝流程,以便我們評估工藝的可行性和有效地控制晶片污染風險。以下是工藝流程範例的鏈結。