消防裝置

根據消防署規定，納米系統製造實驗中心(清水灣)第二期的無塵室區已裝設以下防火設備：

1. 兩個消防喉轆，分別設於走廊及千級區域
2. 四支滅火筒，分別設於「黃光區」、千級區域和走廊
3. 三個警鐘
4. 架空地板下裝有多個煙霧探測器
5. 天花裝有多個灑水裝置和熱力探測器
6. 防火門
7. 防火捲閘

納米系統製造實驗中心(清水灣)第三期已裝設以下防火設備：

1. 四個火警鐘，分別設於千級和百級區域
2. 兩支滅火筒，分別設於千級和百級區域
3. 三個警鐘
4. 兩張滅火氈，分別設於千級和百級區域
5. 天花裝有多個灑水裝置和熱力探測器

深硅刻蝕工藝中心和硅通孔工藝實驗室（2223/2227室）已裝設以下防火設備：

1. 兩支滅火筒
2. 兩張滅火氈
3. 天花裝有多個灑水裝置和熱力探測器